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微波等離子體在材料制備中的優勢分析

行業新聞

2019-12-13 11:24:17

來源:行業新聞

作者:wattsine

近十幾年來,國內外有關微波等離子體在材料制備中的應用發展十分迅速,如制備納米材料、燒結材料、氣相沉積等方面均已見成效,諸多研究結果表明,微波等離子體在材料制備方面的應用具有巨大潛力和工業價值。


其依據在于微波等離子體獨有的特點:

1)活性強:微波等離子體對氣體的電離和離解程度比其他類型的等離子體(如電弧等離子體)可高10倍以上,因此微波等離子體更能增加氣體分子的反應性強;

2)反應區內沒有電極,消除了放電電極自身造成的污染,因而適合于高純度物質的制備和處理,而且工藝效率高;

3)反應區內的壓力能在很寬范圍內進行調整,工藝調控性好;

4)微波等離子體中自由電子的溫度高于離子的溫度,其中的化學反應可有更高的反應平衡常數,效率高。正因如此,微波等離子體在材料合成、燒結、沉積以及表面刻蝕、表面處理等方面的應用日益引起人們的重視。


與其它方法相比,經微波等離子法得到的材料往往有更高的品質,同時工藝過程有更好的可控性、重復性以及更高的效率,尤其是在難合成材料的制備上這些優點更加突出。


微波等離子體是怎么形成的呢?


微波等離子體是指:利用微波激發的氣體放電而產生的等離子體。如在微波爐中放入金屬絲,就會產生放電現象,通稱“打火”。微波誘導微放電源是基于“微波帶”技術在大氣壓環境下產生的一種微等離子體,微波帶技術的使用不僅可以將微波精確指向間隙區,同時也減少了不必要的外空間輻射損失,有利于耦合效率的提高,從而獲得高密度等離子體.


微波等離子的形成過程,我們可以看出其中一個重要的特性來源,那就是“微波”。微波等離子的關鍵就在于微波能量的產生,它是微波等離子的核心,微波能量是否能穩定高效的傳輸決定著微波等離子體的功效;目前國內市場上廣泛用的是磁控管來產生微波能,但磁控管在使用過程中,眾多用戶都反映返修率高、壽命短不耐用,而且穩定性不夠好。


針對磁控管存在的缺陷,沃特塞恩憑借多年來積累的微波RF技術,研發出了磁控管升級產品—新一代的微波能量源設備固態功率源。


我們這款產品采用PLL鎖相技術,頻率穩定度高,采用專利技術的功率穩定度方案,輸出功率穩定度小于3%,寬負載適應能力,優越的可靠性能,卓越的可靠性可以承受100%反射功率,使用壽命長,長時間工作功率無衰減。我們可提供基于433MHz、915MHz、2450MHz為激勵頻率的微波等離子體全套解決方案。

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